Detektory SE, BSE

Detektory SE, BSE (Scintillation crystal-based SE, BSE detectors).
Detektory te wyposażone są w najwyższej klasy scyntylatory na bazie kryształów. Wykorzystują one wykrywanie elektronów wtórnych (SE, secondary electron) które zachodzi gdy niskoenergetyczny elektron zostaje wybity z atomów położonych najbliżej powierzchni materiału  w zjawisku zwanym emisją wtórną, bądź elektronów pochodzących z wiązki pierwotne. Liczba elektronów SE jest bardzo duża w stosunku do liczby elektronów wstecznie rozproszonych (BSE, backscattered electron), czyli zjawisku w którym wysokoenergetyczny elektron ulega sprężystemu odbiciu i opuszcza jednocześnie powierzchnię materiału praktycznie bez utraty energii kinetycznej. Liczba elektronów BSE jest bardzo mała w stosunku do liczby elektronów wtórnych, i do wykrycia ich konieczne jest użycie detektora o bardzo dużej powierzchni, celem „wyłapania” jak największej liczby elektronów.

Ten typ detektorów obrazowania SEM osiąga wysoką czułość i wysoką rozdzielczość (0,1 Z dla detekcji BSE) zapewniając najwyższą jakość obrazu.

Głównymi zaletami detektorów opartych na kryształach scyntylacyjnych są:

• Wysoka szybkość przetwarzania obrazu do 20 ns / piksel,
• Stabilność temperatury,
• Niski poziom szumów,
• Możliwość obserwacji w trybie niskiej i wysokiej próżni,
• Brak utraty własności w czasie,
• Wysoka odporność mechaniczna,

W ofercie posiadamy również pompy próżniowe dostosowane do potrzeb klienta (m. in. pompy scroll, jonowe i turbomolekularne) oraz napylarki.