FIB-SEM

FIB-SEM (skaningowy mikroskop elektronowy z dodatkowym działem jonowym) umożliwia w jednym urządzeniu wykorzystanie wiązki elektronów i jonów. Kolumna SEM zapewnia obrazowanie w wysokiej rozdzielczości, podczas gdy kolumna FIB umożliwia modyfikację powierzchni próbek. Dwuwiązkowy system FIB-SEM umożliwia trawienie powierzchni, nanoszenie warstw oraz przygotowywanie próbek dla transmisyjnej mikroskopii elektronowej.

W systemach FIB-SEM ogniskowe elektronów i wiązek jonowych, pokrywają się, co umożliwia równoczesne obrazowanie (SEM) i trawienia warstw próbki (FIB).
Dostępne są dwa różne źródła FIB: działo z jonami galu oraz działo z plazmą jonów ksenonu. FIB-Ga znajduje zastosowane we wszystkich aplikacjach, które wymagają najwyższej precyzji przy tworzeniu struktur niskowymiarowych. Systemy FIB-SEM ze źródłem plazmowym pozwalają uzyskać wysoki prąd jonowy co umożliwia trawienie dużych objętości materiału w krótkim czasie (do 50 razy szybsze trawienie w porównaniu do Ga-FIB). Możliwa jest także analiza jonów wtórnych (SIMS) oraz wykonywanie analiz tomograficznych. Pod względem precyzji, systemy plazmowe FIB-SEM mogą osiągnąć rozdzielczość <15 nm, i są one zatem przeznaczone do zadań, które wymagają jednocześnie wysokiej wydajności i dokładności.