Detektory SE, BSE
Detektory SE, BSE (Scintillation crystal-based SE, BSE detectors).
Detektory te wyposażone są w najwyższej klasy scyntylatory na bazie kryształów. Wykorzystują one wykrywanie elektronów wtórnych (SE, secondary electron) które zachodzi gdy niskoenergetyczny elektron zostaje wybity z atomów położonych najbliżej powierzchni materiału w zjawisku zwanym emisją wtórną, bądź elektronów pochodzących z wiązki pierwotne. Liczba elektronów SE jest bardzo duża w stosunku do liczby elektronów wstecznie rozproszonych (BSE, backscattered electron), czyli zjawisku w którym wysokoenergetyczny elektron ulega sprężystemu odbiciu i opuszcza jednocześnie powierzchnię materiału praktycznie bez utraty energii kinetycznej. Liczba elektronów BSE jest bardzo mała w stosunku do liczby elektronów wtórnych, i do wykrycia ich konieczne jest użycie detektora o bardzo dużej powierzchni, celem „wyłapania” jak największej liczby elektronów.
Ten typ detektorów obrazowania SEM osiąga wysoką czułość i wysoką rozdzielczość (0,1 Z dla detekcji BSE) zapewniając najwyższą jakość obrazu.
Głównymi zaletami detektorów opartych na kryształach scyntylacyjnych są:
- Wysoka szybkość przetwarzania obrazu do 20 ns / piksel,
- Stabilność temperatury,
- Niski poziom szumów,
- Możliwość obserwacji w trybie niskiej i wysokiej próżni,
- Brak utraty własności w czasie,
- Wysoka odporność mechaniczna,
W ofercie posiadamy również pompy próżniowe dostosowane do potrzeb klienta (m. in. pompy scroll, jonowe i turbomolekularne) oraz napylarki.
