EDX, WDX

EDX (Energy Dispersive X-Ray Analysis) i WDX (Wavelength Dispersive X-ray Spectroscopy) to techniki analityczne stosowane w mikroskopii elektronowej, w których promienie rentgenowskie, powstałe w wyniku oddziaływania wiązki elektronów z atomami badanej próbki są wykorzystywane do analizy składu pierwiastkowego próbek. Szczyty w uzyskiwanych widmach EDX i WDX, odpowiadają charakterystycznym liniom promieniowania rentgenowskiego z określonego zakresu. Analiza widma umożliwia ilościową i jakościową charakterystykę chemiczną próbek.

W analizie EDX cały zakres energii promieniowania rentgenowskiego jest mierzony jednocześnie, w przeciwieństwie do WDX, w którym mierzy się tylko jedną długość fali (odpowiadającą jednej wartości energii) w określonym czasie. Dlatego analiza EDX jest szybsza w porównaniu do WDX. WDX oferuje jednak znacznie lepszą rozdzielczość i czułość niż EDX co jest szczególnie przydatne przy analizie niskich koncentracji pierwiastków.

Można jednocześnie analizować próbki z wykorzystaniem EDX i WDX. W przypadku nieznanych próbek, wygodnie jest przeprowadzić wstępną analizę EDX, która zidentyfikuje główne pierwiastki obecne w próbce, a następnie bardziej czułą analizę WDX, aby rozdzielić pokrywające się piki i wykryć elementy śladowe, których zawartość jest niższa od granicznej wykrywalności detektora EDX.